半导体设备清洗难题：超精密电子级清洗剂选型指南

在半导体制造过程中，清洗是至关重要的一步，它直接影响到产品的质量和可靠性。由于半导体设备的精密性和复杂性，选择合适的清洗剂至关重要。以下是关于超精密电子级清洗剂选型的一些指导原则和注意事项。

清洗剂的基本要求

1. 高可靠性：半导体设备的清洗需要保证高可靠性，特别是在5G通讯、航天航空、汽车电子、医疗设备、人工智能等行业和产业产品中，高可靠性的要求是为了整个功能体系能安全可靠运行的基础12。

2. 水基清洗：水基清洗在半导体设备的清洗中得到广泛应用，因为它可以有效地去除焊接中产生的焊剂或焊膏的残余物和污垢。水基清洗剂的选型和匹配需要针对焊接所用的焊膏和锡膏的可清洗性进行测试12。

3. 材料兼容性：被清洗物上往往有多种物质材料构成，包括金属材料、非金属材料、化学材料。因此，水基清洗剂选型在针对被清洗物上材料兼容性的考量所占的权重比大，涉及面广，测试验证手续复杂1。

4. 清洗干净度：清洗干净度的评价和评估通常采取两种方式：一是裸眼经40~100倍的显微放大观察清洗物表面残余物的状况，以见不到残余物为评判依据；二是使用表面离子污染度检测方式对被清洗物表面进行检测，以检测的数据比照技术指标要求评价12。

5. 清洗剂的消耗和寿命：在线通过式喷淋机用水基清洗剂的消耗有三个组成部分：气雾损耗、被清洗物和网带的带离损耗、清洗剂到达寿命终点的全液更换。清洗剂的寿命通常在产线中，以产线的实际检测干净度的标准，观察检测清洗剂的寿命终点1。

清洗剂的选型指南

1. 了解清洗对象：首先需要了解待清洗的半导体设备的具体情况，包括材质、结构、污染物类型等。这有助于选择能够有效去除特定污染物且不对设备造成损害的清洗剂。

2. 测试验证：在实际生产中，需要对选定的清洗剂进行测试验证，以确保其能够满足清洗要求。这包括清洗干净度的评价和评估，以及对材料兼容性的系统验证和评估1。

3. 考虑环保性：现代油性漆正逐步向低VOC（挥发性有机化合物）方向发展，通过采用环保型溶剂和添加剂，减少了对环境的影响。在选择清洗剂时，也需要考虑其环保性能2。

4. 供应商的选择：选择有经验和技术实力的供应商，他们能够提供专业的清洗剂选型建议和全面的技术支持。例如，德国ZESTRON提供的HYDRON® SE 220是一款水基型单相清洗液，专门设计用于浸没式清洗工艺，能够有效去除助焊剂3。

结语

超精密电子级清洗剂的选型是一个复杂的过程，需要综合考虑多个因素。通过遵循上述指导原则和注意事项，可以选择到适合半导体设备清洗的清洗剂，从而保证产品的高质量和高可靠性。